Die Substitutionsmethode stellt in der Messtechnik eine Verfeinerung der Kompensationsmethode dar. Die Substitutionsmethode zeichnet sich dadurch aus, dass die bei einer Kompensationsmethode unbekannt bleibende kompensierende Größe gespeichert wird. Bei dieser konstant bleibenden kompensierenden Größe variiert man dann die Messgröße, bis der Kompensationszustand wiederhergestellt wird. Die auf diese Weise ermittelte Messgröße stellt dann die zu bestimmende Messgröße dar.